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FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng)

FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng)

產(chǎn)品分類: 新聞咨詢
產(chǎn)品熱度:2,598 人關(guān)注
產(chǎn)品描述:

FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng): 技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及無塵加工輔助設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種基于FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng)。 背景技術(shù) 目前,F(xiàn)FU,即風(fēng)機過濾單元,利用其內(nèi)部的風(fēng)機(電機+葉輪)將空氣(風(fēng))吸入,所吸收的空氣(風(fēng))經(jīng)過FFU下面的HEPA(高效空氣過濾器)或者ULPA(超高效過濾器)濾網(wǎng),將空氣中的大顆粒的塵埃微粒子過濾掉,最后 …

FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng):
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及無塵加工輔助設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種基于FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)
目前,F(xiàn)FU,即風(fēng)機過濾單元,利用其內(nèi)部的風(fēng)機(電機+葉輪)將空氣(風(fēng))吸入,所吸收的空氣(風(fēng))經(jīng)過FFU下面的HEPA(高效空氣過濾器)或者ULPA(超高效過濾器)濾網(wǎng),將空氣中的大顆粒的塵埃微粒子過濾掉,最后把新風(fēng)以0.45m/s±10%的風(fēng)速均勻送到潔凈室。烤漆FFU

FFU群控系統(tǒng)是用于控制多個FFU的系統(tǒng),而目前FFU群控系統(tǒng)的除塵方式還只是單方面無反饋的,其無法獲取潔凈室或者廠房的潔凈度情況,因此難以根據(jù)實際潔凈度情況調(diào)節(jié)風(fēng)機轉(zhuǎn)速或者提示更換過濾網(wǎng),且現(xiàn)有的檢測潔凈度的方式普遍采用人工定時檢測。

中的現(xiàn)有技術(shù)方案存在以下缺陷:
FFU要人工定時檢測具有較大的滯后性,進而可能在一段作業(yè)時間內(nèi)出現(xiàn)潔凈度無法滿足要求的情況,從而導(dǎo)致相關(guān)設(shè)備損耗或者產(chǎn)品不良率升高等問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種基于FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng),能減少潔凈度無法滿足要求的情況的出現(xiàn)時間,避免產(chǎn)生相關(guān)設(shè)備損耗或者產(chǎn)品不良率升高的情況。

本發(fā)明FFU目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的:

一種基于FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng),包括:粒子計數(shù)器,設(shè)置于無塵間內(nèi),用于檢測無塵間空氣中的粉塵顆粒濃度并輸出顆粒濃度信號V1;上位機,與粒子計數(shù)器電連接,用于接收顆粒濃度信號并與預(yù)設(shè)值進行對比,且當(dāng)顆粒濃度信號與預(yù)設(shè)值產(chǎn)生差值時上位機輸出控制信號V2;

控制器,設(shè)置于無塵間內(nèi),與上位機電連接且與風(fēng)機電連接,用于接收并響應(yīng)控制信號V2以控制風(fēng)機轉(zhuǎn)速升高。

通過采用技術(shù)方案,粒子計數(shù)器用于測量無塵間空氣內(nèi)的粉塵顆粒濃度,上位機接收顆粒濃度信號并與預(yù)設(shè)值進行對比,且當(dāng)顆粒濃度信號與預(yù)設(shè)值產(chǎn)生差值時上位機輸出控制信號V2,控制器接收到控制信號V2時控制風(fēng)機轉(zhuǎn)速升高,從而提高FFU的除塵效果,使無塵間內(nèi)的粉塵顆粒濃度降至正常范圍,且粒子計數(shù)器實時測量,控制器實時調(diào)節(jié),從而減少潔凈度無法滿足要求的情況的出現(xiàn)時間,避免產(chǎn)生相關(guān)設(shè)備損耗或者產(chǎn)品不良率升高的情況。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:
FFU無塵間各區(qū)域內(nèi)均設(shè)置有粒子計數(shù)器,顆粒濃度信號V1對應(yīng)的粉塵顆粒濃度等于多個所述粒子計數(shù)器輸出的粒子濃度的平均值。
通過采用技術(shù)方案,顆粒濃度信號對應(yīng)的粉塵顆粒濃度取多個粒子計數(shù)器輸出的粒子濃度的平均值,以此減少外部因素對粒子計數(shù)器的干擾,減少誤差,從而提高粒子濃度檢測的準確度。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:
上位機上設(shè)置有用于檢測異常情況的告警電路,告警電路包括設(shè)置于所述風(fēng)機上的用于檢測風(fēng)機轉(zhuǎn)速的電機轉(zhuǎn)速檢測器以及設(shè)置于所述上位機上的用于指示過濾網(wǎng)狀態(tài)的指示燈。

通過采用技術(shù)方案,當(dāng)控制系統(tǒng)中出現(xiàn)異常情況時告警電路觸發(fā)告警,以此提示操作人員排除故障,減少潔凈度無法滿足要求的情況的出現(xiàn)時間,避免產(chǎn)生相關(guān)設(shè)備損耗或者產(chǎn)品不良率升高的情況;當(dāng)風(fēng)機的轉(zhuǎn)速上升而粒子計數(shù)器檢測的粒子濃度未產(chǎn)生明顯變化時,判定為過濾網(wǎng)堵塞,此時指示燈亮起,以此提示操作人員及時更換過濾網(wǎng),從而提高FFU的除塵效率。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:
粒子濃度ρ與風(fēng)機轉(zhuǎn)速ω比公式為:ω為所述風(fēng)機轉(zhuǎn)速,ρ為所述粒子計數(shù)器檢測的粒子濃度,ΔK為單位時間內(nèi)K的變化量,C為預(yù)設(shè)值,當(dāng)ΔK<C時,即風(fēng)機轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)的成效低于預(yù)設(shè)值時所述指示燈亮起以指示操作人員更換過濾網(wǎng)。

通過采用技術(shù)方案,當(dāng)ΔK<C時,即風(fēng)機轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)后粉塵顆粒的濃度未降低至預(yù)估值,或電機的轉(zhuǎn)速未提高到預(yù)估值,此時ΔK未達到設(shè)定值C,以此表明過濾網(wǎng)產(chǎn)生堵塞現(xiàn)象而使粉塵顆粒無法過濾清除,此時指示燈亮起以指示操作人員及時更換過濾網(wǎng),從而提高FFU的除塵效率。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:
無塵間內(nèi)各區(qū)域劃分潔凈度等級,各區(qū)域分別對應(yīng)設(shè)置有風(fēng)機,α為當(dāng)前區(qū)域的潔凈度等級所對應(yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值,當(dāng)前區(qū)域的粒子濃度低于預(yù)設(shè)粒子濃度值時控制器觸發(fā)并調(diào)節(jié)當(dāng)前區(qū)域的風(fēng)機轉(zhuǎn)速。

通過采用技術(shù)方案,由于無塵間內(nèi)各區(qū)域生產(chǎn)的產(chǎn)品對所處空氣環(huán)境的潔凈度要求不同,且單臺FFU的調(diào)節(jié)有效范圍有限,因此對無塵間內(nèi)各區(qū)域劃分潔凈度等級,根據(jù)各區(qū)域產(chǎn)品所需的潔凈度要求調(diào)節(jié)預(yù)設(shè)粒子濃度值,以此減少局部區(qū)域的FFU負荷,從而節(jié)省能耗。覆鋁鋅板FFU

本發(fā)明進一步設(shè)置為:
各區(qū)域的潔凈度等級所對應(yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值與其對應(yīng)的粒子計數(shù)器設(shè)置數(shù)量的關(guān)系公式:α*γ=β,γ為無塵間當(dāng)前區(qū)域的粒子計數(shù)器數(shù)量,β為常數(shù)。

通過采用技術(shù)方案,由于無塵間內(nèi)各區(qū)域生產(chǎn)的產(chǎn)品對所處空氣環(huán)境的潔凈度要求不同,且當(dāng)前區(qū)域的潔凈度等級所對應(yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值較低時需要匹配數(shù)量更多的粒子計數(shù)器,以此減少部分粒子計數(shù)器由于局部范圍的外部因素影響而產(chǎn)生的誤差,從而避免因粉塵顆粒濃度高于該區(qū)域潔凈度要求所對應(yīng)的的預(yù)設(shè)粒子濃度值而導(dǎo)致產(chǎn)品不合格或設(shè)備損壞的情況。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:所述控制器與風(fēng)機電連接以對風(fēng)機進行供電,所述告警電路還包括:

電流檢測器,設(shè)置于控制器上,用于檢測控制器對風(fēng)機供電的電流值且當(dāng)供電電流值高于設(shè)定值時輸出過流信號;

控制組件,設(shè)置于控制器上且與電流檢測器電連接,用于接收并響應(yīng)過流信號并控制控制器停止升高風(fēng)機轉(zhuǎn)速;

報警燈,設(shè)置于上位機上,與控制組件電連接,用于接收并響應(yīng)過流信號,當(dāng)接收到過流信號時亮起。

通過采用技術(shù)方案,電流檢測器用于檢測風(fēng)機的電流值,當(dāng)風(fēng)機的電流值大于設(shè)定值時控制組件控制控制器停止升高風(fēng)機轉(zhuǎn)速,以此避免轉(zhuǎn)速升高使溫度繼續(xù)飆升而最終導(dǎo)致風(fēng)機損毀的現(xiàn)象,從而達到保護風(fēng)機的效果。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:告警電路還包括:

定時器,設(shè)置于上位機上且與之電連接,用于接收并響應(yīng)控制信號,當(dāng)接收到控制信號時觸發(fā)定時,當(dāng)定時器設(shè)定時間結(jié)束時輸出定時信號Z1;

反饋組件,與定時器電連接且與上位機電連接,用于接收并響應(yīng)定時信號Z1與控制信號V2,當(dāng)同時接收到定時信號Z1與控制信號V2時輸出警告信號Z2;警告燈,設(shè)置于上位機上,與反饋組件電連接,用于接收并響應(yīng)警告信號,當(dāng)接收到警告信號Z2時亮起。

通過采用技術(shù)方案,當(dāng)控制器開始提高風(fēng)機的轉(zhuǎn)速時,定時器觸發(fā),經(jīng)過一段設(shè)定時間后輸出定時信號,當(dāng)反饋組件同時接收到定時信號Z1與控制信號V2時輸出警告信號Z2,以此使警告燈亮起,提示操作人員該區(qū)域的粉塵顆粒濃度在設(shè)定時間內(nèi)未降低至預(yù)設(shè)濃度,從而指示該區(qū)域的FFU的時效性較差,從而提示操作人員對該區(qū)域的FFU進行維護,排除異常狀態(tài)。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:所述反饋組件包括:

一繼電器,其線圈一端耦接于VCC;

一NPN型三極管,其發(fā)射極接地,其基極接收控制信號V2,其集電極耦接于第一繼電器線圈的另一端;

定時器的輸入端的一極通過第一繼電器的常開觸點KM1-1接地,其另一極耦接于VCC端,其輸出端的一極接地,其輸出端的另一極輸出定時信號Z1。

通過采用技術(shù)方案,NPN型三極管具有“基極輸入高電平導(dǎo)通”的特性,當(dāng)?shù)谝籒PN型三極管的基極接收到控制信號V2時,第一繼電器線圈得電,其常開觸點KM1-1閉合使定時器觸發(fā)開始計時,當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時間段后定時器輸出定時信號Z1。

本發(fā)明進一步設(shè)置為:所述反饋組件還包括:

與門,其輸入端分別接收定時信號Z1與控制信號V2;

二NPN型三極管,其基極耦接于與門的輸出端,其集電極連接于VCC端;警告燈的陽極耦接于第二NPN型三極管的發(fā)射極,其陰極接地。

通過采用技術(shù)方案,當(dāng)定時器經(jīng)過設(shè)定時間段后輸出定時信號Z1,由于與門具有“輸入全為高電平輸出才為高電平”的特性,因此當(dāng)定時信號Z1與控制信號V2同時輸入時,與門輸出高電平,此時第二NPN型三極管基極輸入高電平導(dǎo)通,以此使照明件得電發(fā)光,從而發(fā)出告警,提示操作人員維護FFU。

綜上,本發(fā)明的有益技術(shù)效果為:
1、上位機接收顆粒濃度信號并與預(yù)設(shè)值進行對比,且當(dāng)顆粒濃度信號與預(yù)設(shè)值產(chǎn)生差值時上位機輸出控制信號V2,控制器接收到控制信號V2時控制風(fēng)機轉(zhuǎn)速升高,從而提高FFU的除塵效果,使無塵間內(nèi)的粉塵顆粒濃度降至正常范圍,且粒子計數(shù)器實時測量,控制器實時調(diào)節(jié),從而減少潔凈度無法滿足要求的情況的出現(xiàn)時間,避免產(chǎn)生相關(guān)設(shè)備損耗或者產(chǎn)品不良率升高的情況;

2、當(dāng)風(fēng)機的轉(zhuǎn)速上升而粒子計數(shù)器檢測的粒子濃度未產(chǎn)生明顯變化時,判定為過濾網(wǎng)堵塞,此時指示燈亮起,以此提示操作人員及時更換過濾網(wǎng),從而提高FFU的除塵效率;

3、由于無塵間內(nèi)各區(qū)域生產(chǎn)的產(chǎn)品對所處空氣環(huán)境的潔凈度要求不同,且當(dāng)前區(qū)域的潔凈度等級所對應(yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值較低時需要匹配數(shù)量更多的粒子計數(shù)器,以此減少部分粒子計數(shù)器由于局部范圍的外部因素影響而產(chǎn)生的誤差,從而避免因粉塵顆粒濃度高于該區(qū)域潔凈度要求所對應(yīng)的的預(yù)設(shè)粒子濃度值而導(dǎo)致產(chǎn)品不合格或設(shè)備損壞的情況。直流FFU

附圖說明
圖1是本發(fā)明的整體原理框圖;

圖2是本發(fā)明的告警電路的整體原理框圖;

圖3是本發(fā)明的電路原理示意圖。

附圖標記:1、告警電路;2、反饋組件。

具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細說明。
參照圖1,為本發(fā)明公開的一種基于FFU的無塵間潔凈度閉環(huán)控制系統(tǒng),包括設(shè)置于無塵間內(nèi)的粒子計數(shù)器、上位機以及控制器,粒子計數(shù)器優(yōu)選為PGD-70粒子檢測儀,用于檢測無塵間空氣中的粉塵顆粒濃度并輸出顆粒濃度信號V1。粒子計數(shù)器有多個且分布于無塵間各個生產(chǎn)區(qū)域中,當(dāng)前生產(chǎn)區(qū)域的顆粒濃度信號V1對應(yīng)的顆粒濃度等于當(dāng)前生產(chǎn)區(qū)域的多個粒子計數(shù)器輸出的粒子濃度的平均值,以此減少外部因素對粒子計數(shù)器的干擾,減少誤差,從而提高粒子濃度檢測的準確度。

上位機,采用工控電腦,與粒子計數(shù)器電連接,用于接收顆粒濃度信號并與預(yù)設(shè)值進行對比,且當(dāng)顆粒濃度信號與預(yù)設(shè)值產(chǎn)生差值時上位機輸出控制信號V2。控制器,與上位機電連接且與風(fēng)機電連接,用于接收并響應(yīng)控制信號V2,當(dāng)接收到控制信號V2時控制風(fēng)機轉(zhuǎn)速升高。

由于無塵間內(nèi)各區(qū)域生產(chǎn)的產(chǎn)品對所處空氣環(huán)境的潔凈度要求不同,且單臺FFU的調(diào)節(jié)有效范圍有限,因此將無塵間內(nèi)各區(qū)域劃分潔凈度等級。各區(qū)域分別對應(yīng)設(shè)置有FFU風(fēng)機,α為當(dāng)前區(qū)域的潔凈度等級所對應(yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值,當(dāng)前區(qū)域的粒子濃度低于預(yù)設(shè)粒子濃度值時控制器觸發(fā)并調(diào)節(jié)當(dāng)前區(qū)域的風(fēng)機轉(zhuǎn)速。根據(jù)各區(qū)域產(chǎn)品所需的潔凈度要求調(diào)節(jié)預(yù)設(shè)粒子濃度值,以此減少局部區(qū)域的FFU負荷,從而節(jié)省能耗。

由于無塵車間部分區(qū)域?qū)崈舳鹊囊蟾撸渌鶎?yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值更低,因此對于粒子濃度檢測的精確性要求更高。由此可知,當(dāng)前區(qū)域的潔凈度等級所對應(yīng)的預(yù)設(shè)粒子濃度值較低時需要匹配數(shù)量更多的粒子計數(shù)器,因此預(yù)設(shè)粒子濃度值與粒子計數(shù)器呈反比,則得出公式:α*γ=β,γ為無塵間當(dāng)前區(qū)域的粒子計數(shù)器數(shù)量,β為常數(shù)。粒子計數(shù)器數(shù)量的區(qū)分調(diào)節(jié)用以減少部分粒子計數(shù)器由于局部范圍的外部因素影響而產(chǎn)生的誤差,從而避免因粉塵顆粒濃度高于該區(qū)域潔凈度要求所對應(yīng)的的預(yù)設(shè)粒子濃度值而導(dǎo)致產(chǎn)品不合格或設(shè)備損壞的情況。

參照圖2,上位機上設(shè)置有用于檢測異常情況的告警電路1,告警電路1包括設(shè)置于風(fēng)機上的電機轉(zhuǎn)速檢測器以及設(shè)置于上位機上的用于指示過濾網(wǎng)狀態(tài)的指示燈。電機轉(zhuǎn)速檢測器優(yōu)選為WH1300電機轉(zhuǎn)速檢測儀,用于檢測風(fēng)機轉(zhuǎn)速ω。當(dāng)風(fēng)機的轉(zhuǎn)速上升而粒子計數(shù)器檢測的粒子濃度未產(chǎn)生明顯變化時,判定為過濾網(wǎng)堵塞,此時指示燈亮起,以此提示操作人員及時更換過濾網(wǎng),從而提高FFU的除塵效率。

轉(zhuǎn)速ω已知,粒子計數(shù)器檢測的粒子濃度ρ由粒子計數(shù)器檢測所得,粒子濃度ρ與風(fēng)機轉(zhuǎn)速ω比公式為: 由此得出,風(fēng)機轉(zhuǎn)速提升對應(yīng)的除塵成效比運算公式為: C為預(yù)設(shè)值,當(dāng)ΔK<C時,即風(fēng)機轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)的成效低于預(yù)設(shè)值時,表示風(fēng)機轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)后粉塵顆粒的濃度未降低至預(yù)估值,或電機的轉(zhuǎn)速未提高到預(yù)估值。此時ΔK未達到設(shè)定值C,以此表明過濾網(wǎng)產(chǎn)生堵塞現(xiàn)象而使粉塵顆粒無法過濾清除,此時指示燈亮起以指示操作人員及時更換過濾網(wǎng),從而提高FFU的除塵效率。

控制器采用SWE343型號的電機驅(qū)動板,控制器與風(fēng)機電連接以對風(fēng)機進行供電,告警電路1還包括設(shè)置于控制器上的電流檢測器、設(shè)置于控制器上的控制組件以及設(shè)置于上位機上的報警燈。常規(guī)的電機電流保護器在電機電流超過預(yù)設(shè)值時會切斷電機的供電以避免電機壽命削減,而無塵車間由于生產(chǎn)工藝嚴格,風(fēng)機的停機會造成粉塵顆粒濃度失控,從而造成巨大的經(jīng)濟損失。

因此電流檢測器優(yōu)選為RCM470DY電流檢測器,當(dāng)控制器供給風(fēng)機的電流值大于預(yù)設(shè)值時,電流檢測器觸發(fā)并輸出過流信號。控制組件包括PLC控制器,PLC控制器用于控制控制器停止升高風(fēng)機轉(zhuǎn)速,以此避免轉(zhuǎn)速升高使溫度繼續(xù)飆升而最終導(dǎo)致風(fēng)機損毀的現(xiàn)象,從而達到保護風(fēng)機的效果。同時PLC控制器與報警燈電連接以控制報警燈亮起。

參照圖2、圖3,告警電路1還包括設(shè)置于上位機上的定時器、反饋組件2以及警告燈。反饋組件2與定時器電連接且與上位機電連接,用于接收并響應(yīng)定時信號Z1與控制信號V2,當(dāng)同時接收到定時信號Z1與控制信號V2時輸出警告信號Z2。反饋組件2包括第一繼電器KM1、第一NPN型三極管Q1、與門以及第二NPN型三極管Q2。第一NPN型三極管Q1的發(fā)射極接地,其基極接收控制信號V2,其集電極耦接于第一繼電器KM1線圈的一端。一繼電器KM1線圈的一端耦接于VCC端。

定時器與上位機電連接,用于接收并響應(yīng)控制信號,當(dāng)接收到控制信號時觸發(fā)定時,當(dāng)定時器設(shè)定時間結(jié)束時輸出定時信號Z1。定時器采用KG316T定時器。定時器的輸入端的一極通過第一繼電器KM1的常開觸點KM1-1接地,其另一極耦接于VCC端,其輸出端的一極接地,其輸出端的另一極在設(shè)定時間段后輸出定時信號Z1。當(dāng)控制信號V2輸出時,控制器開始提高風(fēng)機的轉(zhuǎn)速時,且此時由于NPN型三極管具有“基極輸入高電平導(dǎo)通”的特性因而第一NPN型三極管Q1的基極在輸入控制信號V2時導(dǎo)通。此時第一繼電器KM1線圈得電,使其常開觸點KM1-1閉合,以此使定時器觸發(fā)開始計時,當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時間段后定時器輸出定時信號Z1。1175FFU

與門的輸入端分別接收定時信號Z1與控制信號V2,由于與門具有“輸入全為高電平輸出才為高電平”的特性,因此當(dāng)定時信號Z1與控制信號V2同時輸入時,與門輸出高電平信號,即警告信號Z2。

第二NPN型三極管Q2的基極耦接于與門的輸出端,其集電極連接于VCC端,其發(fā)射極通過警報燈接地。第二NPN型三極管Q2基極輸入高電平信號,即警告信號Z2時導(dǎo)通,警告燈的陽極耦接于第二NPN型三極管Q2的發(fā)射極,其陰極接地。當(dāng)?shù)诙﨨PN型三極管Q2導(dǎo)通時警告燈得電而亮起,從而發(fā)出告警,提示操作人員該區(qū)域的粉塵顆粒濃度在設(shè)定時間內(nèi)未降低至預(yù)設(shè)濃度,從而指示該區(qū)域的FFU的時效性較差,從而提示操作人員對該區(qū)域的FFU進行維護,排除異常狀態(tài)。

本實施例的實施原理為:粒子計數(shù)器實時測量無塵間各區(qū)域空氣內(nèi)的粉塵顆粒濃度,上位機接收顆粒濃度信號并與預(yù)設(shè)值進行對比,且當(dāng)顆粒濃度信號與預(yù)設(shè)值產(chǎn)生差值時上位機輸出控制信號V2,控制器接收到控制信號V2時控制風(fēng)機轉(zhuǎn)速升高,以此實時控制風(fēng)機的轉(zhuǎn)速,提高FFU的除塵效果,使無塵間內(nèi)的粉塵顆粒濃度降至正常范圍,從而減少潔凈度無法滿足要求的情況的出現(xiàn)時間,避免產(chǎn)生相關(guān)設(shè)備損耗或者產(chǎn)品不良率升高的情況。

本具體實施方式的實施例均為本發(fā)明的較佳實施例,并非依此限制本發(fā)明的保護范圍,故:凡依本發(fā)明的結(jié)構(gòu)、形狀、原理所做的等效變化,均應(yīng)涵蓋于本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。

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